在半導(dǎo)體、高端電子制造等精密行業(yè)里，設(shè)備能否穩(wěn)定運(yùn)行，直接左右著產(chǎn)能輸出與產(chǎn)品良率。但目前多數(shù)工廠仍沿用傳統(tǒng)運(yùn)維模式，各類痛點持續(xù)制約生產(chǎn)提效：運(yùn)維高度依賴資深人員的個人經(jīng)驗，故障總是滯后發(fā)現(xiàn)，細(xì)小隱患最終演變?yōu)橥话l(fā)停機(jī);海量設(shè)備數(shù)據(jù)未能有效利用，維修決策缺少數(shù)據(jù)支撐，過修、失修問題頻頻出現(xiàn);維保計劃常和生產(chǎn)排程相互沖突，既浪費(fèi)人力、備件等資源，也打亂正常生產(chǎn)節(jié)奏。

憑借多年深耕智能制造積累的行業(yè)經(jīng)驗與落地實踐，格創(chuàng)東智推出設(shè)備智能Agent解決方案，以多智能體協(xié)同架構(gòu)重構(gòu)運(yùn)維模式，幫助工廠逐步擺脫人工依賴，實現(xiàn)設(shè)備運(yùn)維的智能化升級。

方案架構(gòu)：覆蓋多類場景，融合AI技術(shù)搭建智能運(yùn)維體系

本方案將前沿AI技術(shù)與工業(yè)機(jī)理深度融合，覆蓋設(shè)備健康評估、預(yù)測性維護(hù)、工藝異常檢測等核心業(yè)務(wù)場景，串聯(lián)起數(shù)據(jù)感知、分析診斷、決策執(zhí)行全流程，為工廠打造一套輕量化、高效率的設(shè)備智能運(yùn)維中樞。針對設(shè)備運(yùn)維中的核心難題，方案推出三大專項能力：

設(shè)備制造過程異常檢測(AI-FDC)：傳統(tǒng)FDC需要工程師手動篩選監(jiān)控參數(shù)，不僅效率低，還存在異常發(fā)現(xiàn)滯后、報警溯源困難等問題。AI-FDC融合自然語言數(shù)據(jù)查詢、智能選參和可解釋的智能規(guī)格，實現(xiàn)實時、可靠的工藝監(jiān)控，從多維度追溯問題根源，有效提升設(shè)備OEE，減少無效運(yùn)維帶來的成本損耗。

工藝設(shè)備預(yù)測性維護(hù)(PHM)：以往設(shè)備運(yùn)維大多是“故障出現(xiàn)再搶修”的被動模式，PHM系統(tǒng)聚焦核心工藝設(shè)備的關(guān)鍵部件，精準(zhǔn)預(yù)判備件剩余壽命、評估整機(jī)健康狀態(tài)，自動梳理故障根因并推薦最優(yōu)保養(yǎng)方案;同時系統(tǒng)可聯(lián)動生產(chǎn)計劃匹配運(yùn)維時間，規(guī)避非計劃停機(jī)，提升設(shè)備有效使用率。

輔助設(shè)備健康管理(EHM)：工廠內(nèi)設(shè)備數(shù)量多、分布散，人工巡檢難度大，隱性異常很難被及時發(fā)現(xiàn)，整體運(yùn)維成本居高不下。EHM 依托數(shù)據(jù)采集與可視化能力，搭配實時監(jiān)測、故障診斷模塊，有效減輕輔助設(shè)備的運(yùn)維壓力。

上述方案依托四大智能體協(xié)同運(yùn)作，實現(xiàn)半導(dǎo)體設(shè)備維護(hù)的全流程智能化作業(yè)。設(shè)備健康評估智能體全面分析設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)，輸出量化健康評分;預(yù)測性維護(hù)智能體持續(xù)追蹤設(shè)備劣化趨勢，提前預(yù)判部件壽命與潛在故障;維修策略推薦智能體綜合運(yùn)維成本、現(xiàn)場風(fēng)險，輸出最優(yōu)維保方案;執(zhí)行優(yōu)化智能體聯(lián)動生產(chǎn)計劃與實時資源，動態(tài)調(diào)整運(yùn)維排期，實現(xiàn)運(yùn)維與生產(chǎn)高效協(xié)同。

AI-FDC：工藝異常智能檢測，告別人工經(jīng)驗依賴

在半導(dǎo)體晶圓制造環(huán)節(jié)，傳統(tǒng)人工抽檢、事后排查的模式，往往要等到品質(zhì)問題大規(guī)模爆發(fā)后才能察覺，此時損失已經(jīng)無法挽回。傳統(tǒng)FDC同樣存在明顯短板，比如參數(shù)設(shè)置依賴工程師人工建模選參，方案難以復(fù)制落地;無法關(guān)聯(lián)設(shè)備異常與產(chǎn)品缺陷，再加上靜態(tài)閾值易引發(fā)漏檢、誤報，進(jìn)一步加重了運(yùn)維負(fù)擔(dān)。針對以上痛點，格創(chuàng)東智AI-FDC依托三大核心能力，推動工藝質(zhì)檢全面智能化。

智能選參引擎：融合LLM、知識圖譜與多模態(tài)特征篩選技術(shù)，沉淀海量專家經(jīng)驗與項目落地數(shù)據(jù)。系統(tǒng)可跨工藝、跨機(jī)臺自動推薦最優(yōu)監(jiān)控參數(shù)組合，助力模型快速訓(xùn)練，解決人工選參效率低、過度依賴經(jīng)驗的問題。

智能規(guī)格與異常追溯：結(jié)合表示學(xué)習(xí)、雙模式機(jī)器學(xué)習(xí)算法，系統(tǒng)可自動劃分異常等級，精準(zhǔn)建立設(shè)備異常與產(chǎn)品缺陷的關(guān)聯(lián)關(guān)系。依托小樣本集成學(xué)習(xí)能力輸出系統(tǒng)級異常評分，支持問題溯源，快速定位故障源頭。

模型在線主動進(jìn)化：系統(tǒng)搭建人機(jī)協(xié)同反饋、自主迭代學(xué)習(xí)的在線框架，面對生產(chǎn)數(shù)據(jù)波動、新工藝投產(chǎn)、參數(shù)調(diào)整等現(xiàn)場變化，模型能夠?qū)崟r自適應(yīng)優(yōu)化，長期保持高精度檢測能力，穩(wěn)定保障生產(chǎn)品質(zhì)。

目前，AI-FDC 已成功落地多家頭部半導(dǎo)體企業(yè)，落地成效可量化、價值突出。

核心價值

● 提產(chǎn)增效：結(jié)合生成式模型與工業(yè)專用機(jī)器學(xué)習(xí)算法，有效提升設(shè)備OEE，幫助廠區(qū)節(jié)約綜合成本;

● 品質(zhì)可追溯：通過異常標(biāo)簽與全鏈路溯源能力，打通設(shè)備異常與產(chǎn)品缺陷的關(guān)聯(lián)，為運(yùn)維優(yōu)化、良率提升提供明確依據(jù);

● 低門檻可擴(kuò)展：既能適配量產(chǎn)產(chǎn)線，也可滿足研發(fā)小批量試產(chǎn)場景，無需海量數(shù)據(jù)即可快速部署，落地門檻低、擴(kuò)展性強(qiáng)。

（格創(chuàng)東智Getech）